ಪ್ಲಾಸ್ಮಾ ಎಚ್ಚಣೆ ಯಂತ್ರ ರಚನೆ

ICP ಉಪಕರಣವು ಮುಖ್ಯವಾಗಿ ನಾಲ್ಕು ಭಾಗಗಳನ್ನು ಒಳಗೊಂಡಿದೆ: ಪೂರ್ವ-ವ್ಯಾಕ್ಯೂಮ್ ಚೇಂಬರ್, ಎಚಿಂಗ್ ಚೇಂಬರ್, ಗ್ಯಾಸ್ ಸಪ್ಲೈ ಸಿಸ್ಟಮ್ ಮತ್ತು ವ್ಯಾಕ್ಯೂಮ್ ಸಿಸ್ಟಮ್.

(1) ಪೂರ್ವ{1}}ವ್ಯಾಕ್ಯೂಮ್ ಚೇಂಬರ್

ಪೂರ್ವ-ವ್ಯಾಕ್ಯೂಮ್ ಚೇಂಬರ್‌ನ ಕಾರ್ಯವು ಎಚ್ಚಣೆ ಕೊಠಡಿಯನ್ನು ನಿರ್ವಾತ ಮಟ್ಟದಲ್ಲಿ ನಿರ್ವಹಿಸಲಾಗಿದೆ ಎಂದು ಖಚಿತಪಡಿಸಿಕೊಳ್ಳುವುದು, ಬಾಹ್ಯ ಪರಿಸರದಿಂದ (ಧೂಳು, ನೀರಿನ ಆವಿಯಂತಹ) ಪರಿಣಾಮ ಬೀರುವುದಿಲ್ಲ ಮತ್ತು ಕ್ಲೀನ್ ರೂಮ್‌ನಿಂದ ಅಪಾಯಕಾರಿ ಅನಿಲಗಳನ್ನು ಪ್ರತ್ಯೇಕಿಸುತ್ತದೆ. ಇದು ಕವರ್, ಮ್ಯಾನಿಪ್ಯುಲೇಟರ್, ಟ್ರಾನ್ಸ್ಮಿಷನ್ ಮೆಕ್ಯಾನಿಸಂ, ಪ್ರತ್ಯೇಕ ಬಾಗಿಲು ಇತ್ಯಾದಿಗಳನ್ನು ಒಳಗೊಂಡಿದೆ.

(2) ಎಚ್ಚಣೆ ಕೋಣೆ

ಎಚ್ಚಣೆ ಕೊಠಡಿಯು ICP ಎಚ್ಚಣೆ ಉಪಕರಣದ ಪ್ರಮುಖ ರಚನೆಯಾಗಿದೆ. ಇದು ಎಚ್ಚಣೆ ದರ, ಎಚ್ಚಣೆಯ ಲಂಬತೆ ಮತ್ತು ಒರಟುತನದ ಮೇಲೆ ನೇರ ಪರಿಣಾಮ ಬೀರುತ್ತದೆ. ಎಚ್ಚಣೆ ಕೊಠಡಿಯ ಮುಖ್ಯ ಅಂಶಗಳು: ಮೇಲಿನ ವಿದ್ಯುದ್ವಾರ, ICP ರೇಡಿಯೋ ಆವರ್ತನ ಘಟಕ, RF ರೇಡಿಯೋ ಆವರ್ತನ ಘಟಕ, ಕಡಿಮೆ ವಿದ್ಯುದ್ವಾರ ವ್ಯವಸ್ಥೆ, ತಾಪಮಾನ ನಿಯಂತ್ರಣ ವ್ಯವಸ್ಥೆ, ಇತ್ಯಾದಿ.

(3) ಅನಿಲ ಪೂರೈಕೆ ವ್ಯವಸ್ಥೆ

ಅನಿಲ ಪೂರೈಕೆ ವ್ಯವಸ್ಥೆಯು ವಿವಿಧ ಎಚ್ಚಣೆ ಅನಿಲಗಳನ್ನು ಎಚ್ಚಣೆ ಕೊಠಡಿಗೆ ತಲುಪಿಸುವುದು ಮತ್ತು ಒತ್ತಡ ನಿಯಂತ್ರಕ (PC) ಮತ್ತು ಮಾಸ್ ಫ್ಲೋ ನಿಯಂತ್ರಕ (MFC) ಮೂಲಕ ಅನಿಲ ಹರಿವಿನ ಪ್ರಮಾಣ ಮತ್ತು ಹರಿವನ್ನು ನಿಖರವಾಗಿ ನಿಯಂತ್ರಿಸುವುದು. ಅನಿಲ ಪೂರೈಕೆ ವ್ಯವಸ್ಥೆಯು ಅನಿಲ ಮೂಲ ಬಾಟಲ್, ಅನಿಲ ವಿತರಣಾ ಪೈಪ್ಲೈನ್, ನಿಯಂತ್ರಣ ವ್ಯವಸ್ಥೆ, ಮಿಶ್ರಣ ಘಟಕ, ಇತ್ಯಾದಿಗಳನ್ನು ಒಳಗೊಂಡಿದೆ.

(4) ನಿರ್ವಾತ ವ್ಯವಸ್ಥೆ
ಎರಡು ನಿರ್ವಾತ ವ್ಯವಸ್ಥೆಗಳಿವೆ, ಒಂದು ಪೂರ್ವ-ವ್ಯಾಕ್ಯೂಮ್ ಚೇಂಬರ್‌ಗೆ ಮತ್ತು ಇನ್ನೊಂದು ಎಚ್ಚಿಂಗ್ ಚೇಂಬರ್‌ಗೆ. ಪೂರ್ವ-ವ್ಯಾಕ್ಯೂಮ್ ಚೇಂಬರ್ ಅನ್ನು ಯಾಂತ್ರಿಕ ಪಂಪ್ ಮೂಲಕ ಸ್ಥಳಾಂತರಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ. ಪೂರ್ವ-ವ್ಯಾಕ್ಯೂಮ್ ಚೇಂಬರ್‌ನಲ್ಲಿನ ನಿರ್ವಾತ ಮಟ್ಟವು ನಿಗದಿತ ಮೌಲ್ಯವನ್ನು ತಲುಪಿದಾಗ ಮಾತ್ರ ವೇಫರ್ ಅನ್ನು ವರ್ಗಾಯಿಸಲು ಪ್ರತ್ಯೇಕ ಬಾಗಿಲು ತೆರೆಯಬಹುದು. ಎಚ್ಚಣೆ ಕೊಠಡಿಯಲ್ಲಿನ ನಿರ್ವಾತವನ್ನು ಯಾಂತ್ರಿಕ ಪಂಪ್ ಮತ್ತು ಆಣ್ವಿಕ ಪಂಪ್ ಮೂಲಕ ಒದಗಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ. ಎಚ್ಚಣೆ ಕೊಠಡಿಯಲ್ಲಿನ ಪ್ರತಿಕ್ರಿಯೆಯಿಂದ ಉತ್ಪತ್ತಿಯಾಗುವ ಅನಿಲಗಳನ್ನು ನಿರ್ವಾತ ವ್ಯವಸ್ಥೆಯಿಂದ ಹೊರಹಾಕಲಾಗುತ್ತದೆ.