ಇಪ್ಪತ್ತು ಪದರಗಳ ಲಂಬ ಪ್ಲಾಸ್ಮಾ ಕ್ಲೀನರ್

ವಿಚಾರಣೆ ಕಳುಹಿಸಿ

ಕಾರ್ಯ ವಿವರಣೆ

PLC ಮುಚ್ಚಿದ ಲೂಪ್ ನಿಯಂತ್ರಣದೊಂದಿಗೆ ಹಸ್ತಚಾಲಿತ ಮತ್ತು ಸಂಪೂರ್ಣ ಸ್ವಯಂಚಾಲಿತ ವಿಧಾನಗಳ ನಡುವೆ ತಡೆರಹಿತ ಸ್ವಿಚಿಂಗ್ ಅನ್ನು ಬೆಂಬಲಿಸುತ್ತದೆ, ಇದು ನಿಖರವಾದ, ವಿಶ್ವಾಸಾರ್ಹ ಕಾರ್ಯಾಚರಣೆಯನ್ನು ಅನುಮತಿಸುತ್ತದೆ. ಸಂಪೂರ್ಣ ಸ್ವಯಂಚಾಲಿತ ಕಾರ್ಯಾಚರಣೆ, ಸಂಯೋಜಿತ ಎಚ್ಚರಿಕೆಯ ಕಾರ್ಯಗಳು, ನೈಜ-ಸಮಯದ ಮೇಲ್ವಿಚಾರಣೆ, ಪಾಕವಿಧಾನ ನಿರ್ವಹಣೆ ಮತ್ತು ಸುರಕ್ಷಿತ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆ ನಿರ್ವಹಣೆಗಾಗಿ ಪಾಸ್‌ವರ್ಡ್ ರಕ್ಷಣೆಯನ್ನು ವೈಶಿಷ್ಟ್ಯಗೊಳಿಸುತ್ತದೆ. ತಡೆಗಟ್ಟುವ ನಿರ್ವಹಣೆ, ಪ್ರಕ್ರಿಯೆ ಟ್ರ್ಯಾಕಿಂಗ್ ಮತ್ತು ಕಾರ್ಯಾಚರಣೆಯ ವಿಶ್ಲೇಷಣೆಗಾಗಿ ಸಿಸ್ಟಮ್ ನಿರಂತರವಾಗಿ ಒಟ್ಟು ಯಂತ್ರದ ಕಾರ್ಯಾಚರಣೆಯ ಸಮಯವನ್ನು ದಾಖಲಿಸುತ್ತದೆ. HMI ಇಂಟರ್‌ಫೇಸ್ ಮೂಲಕ ಪ್ಲಾಸ್ಮಾ ಪವರ್, ಗ್ಯಾಸ್ ಫ್ಲೋ ದರಗಳು, ನಿರ್ವಾತ ಮಟ್ಟ ಮತ್ತು ಸಂಸ್ಕರಣಾ ಸಮಯ ಸೇರಿದಂತೆ ಎಲ್ಲಾ ನಿರ್ಣಾಯಕ ನಿಯತಾಂಕಗಳನ್ನು ಬಳಕೆದಾರರು ಸರಿಹೊಂದಿಸಬಹುದು ಮತ್ತು ಮೇಲ್ವಿಚಾರಣೆ ಮಾಡಬಹುದು. ನಿರಂತರ ಕೈಗಾರಿಕಾ ಅಥವಾ ಪ್ರಯೋಗಾಲಯ ಕಾರ್ಯಾಚರಣೆಯ ಸಮಯದಲ್ಲಿ ಹೆಚ್ಚಿನ ಸ್ಥಿರತೆ, ಪುನರಾವರ್ತಿತತೆ ಮತ್ತು ಸುರಕ್ಷತೆಯನ್ನು ಒದಗಿಸಲು ಯಂತ್ರವನ್ನು ವಿನ್ಯಾಸಗೊಳಿಸಲಾಗಿದೆ.

ಮುಖ್ಯ ಘಟಕಗಳು (ಕಾನ್ಫಿಗರೇಶನ್)

ಪ್ರದರ್ಶನ ಮತ್ತು ನಿಯಂತ್ರಣ ವ್ಯವಸ್ಥೆ:PLC ನೊಂದಿಗೆ ಟಚ್‌ಸ್ಕ್ರೀನ್ ಇಂಟರ್ಫೇಸ್-ಅರ್ಥಗರ್ಭಿತ ಕಾರ್ಯಾಚರಣೆ ಮತ್ತು ನಿಖರವಾದ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆ ಹೊಂದಾಣಿಕೆಗಳಿಗಾಗಿ ಲೂಪ್ ನಿಯಂತ್ರಣವನ್ನು ಮುಚ್ಚಲಾಗಿದೆ.

ಪ್ರೋಗ್ರಾಮೆಬಲ್ ನಿಯಂತ್ರಕ:ವಿಶ್ವಾಸಾರ್ಹ ಕೈಗಾರಿಕಾ ಯಾಂತ್ರೀಕರಣಕ್ಕಾಗಿ ವಿಸ್ತರಣೆ ಮಾಡ್ಯೂಲ್ Q68ADV ಜೊತೆಗೆ ಮಿತ್ಸುಬಿಷಿ Q00UJCPU.

ಪ್ಲಾಸ್ಮಾ ಜನರೇಟರ್:ATV-MFPS-10, 0–10 kW ±2% ನಿರಂತರವಾಗಿ ಹೊಂದಾಣಿಕೆಯ ಶಕ್ತಿ.

ಒತ್ತಡ ಟ್ರಾನ್ಸ್ಮಿಟರ್:ನೈಜ-ಸಮಯದ ಮೇಲ್ವಿಚಾರಣೆಗಾಗಿ ಹೆಚ್ಚಿನ-ನಿಖರತೆಯ ನಿರ್ವಾತ ಸಂವೇದಕ.

ವಿದ್ಯುತ್ ಘಟಕಗಳು:Schneider LC1D0845 ಸಂಪರ್ಕಕಾರರು ಮತ್ತು ಇತರ ಕೈಗಾರಿಕಾ-ಗ್ರೇಡ್ ಘಟಕಗಳು.

ತಾಪಮಾನ ಟ್ರಾನ್ಸ್‌ಮಿಟರ್:S4-TT-RI-3-5 ನಿಖರವಾದ ತಾಪಮಾನ ಪ್ರತಿಕ್ರಿಯೆಗಾಗಿ.

ಸ್ವಿಚಿಂಗ್ ಪವರ್ ಸಪ್ಲೈ:ಸ್ಥಿರ ಕಾರ್ಯಾಚರಣೆಗಾಗಿ IQ-60F (±15V/24V).

ನಿರ್ವಾತ ಸೊಲೆನಾಯ್ಡ್ ಕವಾಟ:ನಿಯಂತ್ರಿತ ಅನಿಲ ಹರಿವು ಮತ್ತು ಒತ್ತಡ ನಿಯಂತ್ರಣಕ್ಕಾಗಿ SVF.

ಪ್ರೆಶರ್ ಸ್ವಿಚ್ ಮತ್ತು ರೆಗ್ಯುಲೇಟರ್:ವಿಶ್ವಾಸಾರ್ಹ ಒತ್ತಡ ನಿರ್ವಹಣೆಗಾಗಿ SMC.

ಕೂಲಿಂಗ್ ವಾಟರ್ ಸಿಸ್ಟಮ್:ಆಮದು ಮಾಡಿಕೊಂಡ ಸ್ಟೇನ್‌ಲೆಸ್ ಸ್ಟೀಲ್ ಪಂಪ್ ಮತ್ತು ಪೈಪಿಂಗ್‌ನೊಂದಿಗೆ US ಹಬ್ ವ್ಹೀಲ್ ಕಂಪ್ರೆಸರ್, ಸುರಕ್ಷಿತ ಮತ್ತು ಪರಿಣಾಮಕಾರಿ ಶಾಖ ನಿರ್ವಹಣೆಗಾಗಿ ಪರಿಸರ ಸ್ನೇಹಿ ಶೀತಕವನ್ನು ಬಳಸುತ್ತದೆ.

ಮುಖ್ಯ ಅಪ್ಲಿಕೇಶನ್‌ಗಳು

ಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನಿಕ್ಸ್, ವಸ್ತುಗಳ ಸಂಶೋಧನೆ ಮತ್ತು ಮುಂದುವರಿದ ಉತ್ಪಾದನಾ ಕೈಗಾರಿಕೆಗಳಲ್ಲಿ PCB, PTFE ವಸ್ತುಗಳು, FPC ಮತ್ತು ಇತರ ಸೂಕ್ಷ್ಮ ತಲಾಧಾರಗಳ ಸ್ವಚ್ಛಗೊಳಿಸುವಿಕೆ, ಡೀಗಮ್ಮಿಂಗ್ ಮತ್ತು ಮೇಲ್ಮೈ ಸಕ್ರಿಯಗೊಳಿಸುವಿಕೆಗಾಗಿ ವಿನ್ಯಾಸಗೊಳಿಸಲಾಗಿದೆ.

ತಾಂತ್ರಿಕ ವಿಶೇಷಣಗಳು

ನಿರ್ವಾತ ಚೇಂಬರ್ ಪಂಪಿಂಗ್ ಸಮಯ:180 ಸೆ.ಗಿಂತ ಕಡಿಮೆ ಅಥವಾ ಸಮ.

ಗರಿಷ್ಠ ಗ್ಯಾಸ್ ಇನ್ಲೆಟ್:2000 ಮಿಲಿ/ನಿಮಿಷಕ್ಕಿಂತ ಕಡಿಮೆ ಅಥವಾ ಸಮ.

ಗ್ಯಾಸ್ ಚಾನೆಲ್‌ಗಳು:ಹೊಂದಿಕೊಳ್ಳುವ ಬಹು{1}}ಅನಿಲ ಕಾರ್ಯಾಚರಣೆಗಾಗಿ 4 ಸ್ವತಂತ್ರ ಚಾನಲ್‌ಗಳು.

ಕೆಲಸ ಮಾಡುವ ಅನಿಲಗಳು:ಸಾರಜನಕ, ಆಮ್ಲಜನಕ, ಹೈಡ್ರೋಜನ್, ಆರ್ಗಾನ್ (4 ಚಾನಲ್ಗಳು), ಜಪಾನೀಸ್ ಬ್ರ್ಯಾಂಡ್: ಕೊಜಿಮಾ; ಹರಿವಿನ ಮೀಟರ್ ನಿಖರತೆ ± 1.5% FS, ಪುನರಾವರ್ತನೀಯತೆ ± 0.2% FS, FKM ಸೀಲಿಂಗ್, ಶ್ರೇಣಿ 0-2000 ml/min.

ಪ್ಲಾಸ್ಮಾ ಜನರೇಟರ್:ATV-MFPS-15 (ATV ಸ್ವಾಮ್ಯದ ಬ್ರ್ಯಾಂಡ್), 0–15 kW ±2% ನಿರಂತರವಾಗಿ ಹೊಂದಾಣಿಕೆ.

ಪ್ರಕ್ರಿಯೆ ಸಮಯ:20-60 ನಿಮಿಷ

ಕೂಲಿಂಗ್ ನೀರಿನ ಒತ್ತಡ: >1 ಬಾರ್.

ಸಾಮಾನ್ಯ ಕಾರ್ಯಾಚರಣೆಯ ಸಮಯದಲ್ಲಿ ನಿರ್ವಾತ ಮಟ್ಟ:20-50 Pa.

ಕೂಲಿಂಗ್ ವಿನ್ಯಾಸ:ಎರಡು ಸ್ವತಂತ್ರ ನೀರಿನ ಸರ್ಕ್ಯೂಟ್‌ಗಳು ಪ್ರತ್ಯೇಕವಾಗಿ ನಿರ್ವಾತ ಚೇಂಬರ್ ಮತ್ತು ಡ್ರೈ ಪಂಪ್ ಅನ್ನು ಅತ್ಯುತ್ತಮ ಕೂಲಿಂಗ್ ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆ, ಏಕರೂಪದ ತಾಪಮಾನ ವಿತರಣೆ ಮತ್ತು ಸ್ಥಿರವಾದ ದೀರ್ಘಾವಧಿಯ ಕಾರ್ಯಾಚರಣೆಯನ್ನು ಖಚಿತಪಡಿಸಿಕೊಳ್ಳಲು ಪೂರೈಸುತ್ತವೆ.

ಹಾಟ್ ಟ್ಯಾಗ್ಗಳು: ಇಪ್ಪತ್ತು ಪದರಗಳ ಲಂಬ ಪ್ಲಾಸ್ಮಾ ಕ್ಲೀನರ್, ಚೀನಾ ಇಪ್ಪತ್ತು ಪದರಗಳ ಲಂಬ ಪ್ಲಾಸ್ಮಾ ಕ್ಲೀನರ್ ತಯಾರಕರು, ಕಾರ್ಖಾನೆ